賽奧特（SAT)/等離子清洗機廠(chǎng)家/SAT 100
一 應用領(lǐng)域
賽奧特（SAT)/等離子清洗機廠(chǎng)家/SAT 100適用于材料科學(xué)、光學(xué)、光電子學(xué)、生命科學(xué)、電子學(xué)、生物醫學(xué)、半導體、高分子科學(xué)、微觀(guān)流體學(xué)等領(lǐng)域.
二 主要實(shí)驗應用
1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡(jiǎn)單刻蝕 7.去除表面有機物 8.疏水實(shí)驗 9.沉積實(shí)驗 10.形成新的基團 11.鍍膜前處理等
三 技術(shù)特點(diǎn)
1.實(shí)時(shí)檢測和顯示真空度,使得設備在智能控制下有了可靠的依據.
2.真空值可自由設定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動(dòng)環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實(shí)驗效果的準確性和可靠性.
3.真空腔體采用鉸鏈側開(kāi)門(mén)結構，帶有觀(guān)察窗，材料為6061材質(zhì).
4.腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.
5.電容式(CCP)激發(fā),實(shí)驗效果穩定,均勻可靠,電極板置于樣品倉內頂部懸掛.
6.采用觸摸屏顯示控制，手動(dòng)，自動(dòng)兩種模式任意切換.
7.程序化設計，預先編輯好程序，儀器自動(dòng)完成實(shí)驗.
8.利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體的反應活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學(xué)反應，使材料表面成分、組成和結構發(fā)生變化，并能得到某些特定的基團。
9.無(wú)需耗材,使用成本低,無(wú)需特殊進(jìn)行維護,在日常使用中保持儀器清潔即可。
四 技術(shù)規格
1.樣品腔體尺寸：255(深度)X100(直徑)mm ，不銹鋼材質(zhì).
2.放置樣品托盤(pán)尺寸：95(寬)X230(長(cháng))mm，材質(zhì)：6061鋁氧化本色
3.射頻頻率：40KHz。
4.射頻功率:200W，0到200W可調，精度：1瓦.
5.輝光放電功率：10W--200W
6.輝光放電時(shí)間設定：1秒到99分59秒.
7.氣路設置:2氣路(1路進(jìn)氣，一路放空).
8.工作氣體穩定時(shí)間:可調，可設定，范圍：0--180秒.
9.進(jìn)氣控制：壹路浮子流量計控制.
10.工作氣體:空氣\氮氣\氬氣\氮氫混合氣\氬氦混合氣等均可; 也可接入無(wú)腐蝕性、無(wú)毒的工作液體溶液，例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO)，接入工作液體需要選配接枝儀來(lái)配套使用。
11.進(jìn)氣壓力：通入空氣時(shí)常壓，接入鋼瓶時(shí)，鋼瓶進(jìn)氣壓力調整到0.1-0.2Mpa
12.供電電源：~220V/50Hz
13.外形尺寸(寬*深*高)mm:456X493X248mm
14.整機重量(約)：20Kg
五 真空泵
標準配置為機械油泵：1)抽速:2升/秒 2)極限壓強：6*10-2帕 3)噪音;≤66db 4)抽氣KF16法蘭接口，排氣口KF25接口 5)電源線(xiàn)為陰插線(xiàn)
六 基本配置
主機+真空系統(雙極機械真空油泵、油霧過(guò)濾器、真空管、KF16法蘭)、外加氣體軟管、樣品托盤(pán)、說(shuō)明書(shū)、電源線(xiàn)、合格證
七 選配件
（一）機械油泵 型號：VRD-8
1.抽速:2.2升/秒 2.極限壓強：≤5*10-2帕 3.噪音;≤56db 4.工作環(huán)境溫度：5—45
（二）干泵（1） 型號：GWSP150
1.抽速:2升/秒 2.極限壓強：≤6帕 3.噪音;≤57db
4.工作環(huán)境溫度：5--45℃
干泵（2） 型號： SPH10
1.抽速:2.8升/秒 2.極限壓強：≤2帕 3.噪音;≤55db
4.工作環(huán)境溫度：5--45℃
八 操作過(guò)程
1.確認配件完好：在開(kāi)始操作之前，需要確保所有配件如氣體、氣管、密封性和電源等都已正確安裝且匹配。
2.打開(kāi)設備并檢查：打開(kāi)設備，進(jìn)入操控面板，系統會(huì )對設備進(jìn)行檢查。如果沒(méi)故障警報，可以進(jìn)入下一步。
3.設置配方：進(jìn)入配方界面，確認配方信息，包括氣體類(lèi)型、氣壓、處理時(shí)間、功率等參數。確認無(wú)誤后，進(jìn)入下一步。
4.啟動(dòng)設備并進(jìn)行處理：?jiǎn)?dòng)設備，設備會(huì )開(kāi)始抽真空，并進(jìn)行表面處理工序。處理完成后，等待設備破空，然后取出處理過(guò)的產(chǎn)品。
5.檢查處理效果：產(chǎn)品處理完成后，確認處理效果是否正確。如果處理效果滿(mǎn)意，可以將產(chǎn)品放入下一道工序中。
6.關(guān)閉設備：在一天的工作結束后，關(guān)閉設備，并確保所有閥門(mén)和電源都已關(guān)閉。
